本帖最后由小唏于2017-2-709:29編輯
無線傳感器網絡使半導體晶圓制造廠保持高效率運行
問題
對半導體晶圓制造至關重要的是細致、準確地沉積多層化學材料,以形成數千、數百萬甚至在有些情況下是數10億個晶體管,構成各種各樣復雜的集成電路(IC)。
在制造這些IC的過程中,每一步都要精確計量不同的化學氣體,而氣體使用量差異會很大,這是由不同的工藝所決定。
在大多數情況下,這些步驟是高度自動化的。
有趣的是,尚未自動化的竟然是一個非常簡單的步驟,這就是“保持氣體充足供應”。
在凌力爾特公司位于美國加利福尼亞州圣何塞附近的硅谷制造廠中,用于晶圓制造的專用氣罐超過175個。
這些氣罐受到了密切監視,以確保不中斷供氣。
供氣意外中斷會導致價值數10萬美元的晶圓報廢、損失收入并使產品交付出現不可接受的延遲。
為了避免停機,技術人員每天3次手工記錄工廠中每個氣罐的壓力。
這種手工流程容易出現人為差錯,維護成本也很高。
以前使用這種手工數據記錄方法是因為人們認為通信系統配線很昂貴,在工廠中使用是不現實的。
氣罐在工廠中到處都是,而且大多數氣罐附近都沒有AC電源插座或以太網插口。
出于安全和抗震原因,用混凝土墻建造了這座工廠,因此安裝新導線成本之高令人望而卻步。
此外,供電及通信線路安裝這種大型項目也會中斷制造過程,會要求工廠停工。
圖1:提高制造效率─半導體公司利用實時監視,竭力提高制造過程的效率。
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